HISEMI TECHNOLOGY
اخیرا HISEMI TECHNOLOGY نسل جدیدی از تجهیزات سنگ زنی و پرداخت دقیق آزمایشگاهی دو ایستگاه را رسماً منتشر کرد. محصول جدید بر روی سناریوهای خرد کردن و پرداخت نمونه دسته‌ای کوچک برای مواد سخت و شکننده مانند نیمه‌هادی‌های نسل سوم، کریستال‌های نوری، و سرامیک‌های ویژه تمرکز دارد و شکاف در محلی‌سازی تجهیزات آماده‌سازی نمونه با دقت بالا در تحقیقات علمی داخلی را پر می‌کند.
توسعه مواد نیمه هادی جدید تقاضا برای سنگ زنی و پرداخت دقیق را افزایش داده است
با گسترش سریع صنایع نیمه‌رسانای نسل سوم مانند کاربید سیلیکون (SiC) و نیترید گالیم (GaN)، دانشگاه‌های بزرگ، مؤسسات تحقیقاتی و آزمایشگاه‌های تحقیق و توسعه شرکت‌های نیمه‌رسانا به‌طور مداوم نیازمندی‌های خود را برای صافی بستر، دقت شاخص ضخامت و سطح ناهموار ارتقا می‌دهند. تجهیزات سنگ زنی تک ایستگاهی سنتی دارای نقاط دردناکی مانند راندمان پردازش پایین، کنترل فشار ناهموار و تکرارپذیری ضعیف فرآیند هستند. تجهیزات سنگ زنی دقیق وارداتی نیز دارای مشکلاتی مانند هزینه های خرید بالا، چرخه های طولانی تعمیر و نگهداری و مشکلات در سفارشی سازی و تبدیل است. بر اساس نیازهای واقعی تحقیق و توسعه مواد جدید داخلی، Hemei Semiconductor به سالها تجربه در تحقیق و توسعه تجهیزات سنگ زنی دقیق متکی است، به طور مکرر طراحی ساختاری را بهینه می کند و این دستگاه سنگ زنی و پرداخت دقیق هوشمند دو ایستگاه را پیاده سازی می کند.
طراحی ایستگاه دوگانه باعث بهبود کارایی فرآیند می شود
1. طراحی ایستگاه دوگانه مستقل: تجهیزات مجهز به دو مجموعه ایستگاه کاری مستقل است و فیکسچر سازگار (Jjg) مجهز به یک ماژول نظارت بر ضخامت دیجیتال است که می تواند مقدار حذف سنگ زنی نمونه را به صورت آنلاین با دقت 1 میکرو متر و فشار ثابت قابل تنظیم نظارت کند. طراحی ایستگاه دوگانه می‌تواند همزمان شکل دیسک را پردازش و تنظیم کند، و همچنین می‌تواند به طور همزمان تعداد بیشتری از نمونه‌ها را پردازش کند که تقریباً دو برابر کارآمدتر از پردازش تک ماشینی سنتی است.
2. سیستم کنترل فرآیند لمسی هوشمند از سیستم عامل لمسی صنعتی Huichuan INOVANCE استفاده می کند که از ذخیره سازی و بازیابی چندین مجموعه از فرمول های فرآیند سنگ زنی پشتیبانی می کند. این می تواند به طور دقیق سرعت دیسک سنگ زنی، زمان سنگ زنی، بار فشار و پارامترهای پاشش مایع سنگ زنی را تنظیم کند و به راحتی با یک کلیک به فرآیندهای بالغ دسترسی پیدا کند و خطای انسانی را تا حد زیادی کاهش دهد و از ثبات در پردازش نمونه اطمینان حاصل کند.
3. سیستم تامین مایع دقیق به صورت استاندارد با 2 خط لوله قطرات مایع آسیاب مستقل ارائه می شود که می تواند مواد مصرفی مانند مایع سنگ زنی الماس و مایع پولیش آلومینا را مطابق با فرآیند سنگ زنی در زمان واقعی تامین کند، محیط سنگ زنی سطحی را بهینه کند، شکستگی و خراش لبه ویفر را به طور موثر کاهش دهد، و با انواع زیرلایه های سخت و شکننده مانند لایه های سیلیکونی، سیلیکون واتر بیفر سازگار شود. سرامیک های پیزوالکتریک و غیره
4. طراحی بدنه استاندارد ایمنی: تجهیزات دارای بدنه ضد زنگ یکپارچه، مجهز به دکمه ایمنی توقف اضطراری و سوئیچ حفاظت از برق است. این سازه فشرده است و منطقه کوچکی را اشغال می کند و کاملاً با محیط قرارگیری میز آزمایشگاهی سازگار است، پایداری تجهیزات و ایمنی عملیاتی را متعادل می کند.
تهیه نمونه تحقیق در زمینه های مختلف
این دستگاه جدید عمدتاً در سه حوزه کاربردی اصلی هدف قرار گرفته است:
1. تحقیق و توسعه نیمه هادی نسل سوم: نازک شدن بستر SiC/GaN، پرداخت آینه، برای آماده سازی نمونه قبل از خواص فیزیکی و شیمیایی مواد و آزمایش خواص الکتریکی استفاده می شود.
2. اپتیک و صنعت کریستال: پرداخت دقیق شیشه های نوری، بسترهای یاقوت کبود، و سطوح انتهایی کریستال کوارتز برای پاسخگویی به نیازهای پوشش نوری و نمونه های تست عملکرد انتقال نور.
3. زمینه تحقیقاتی مواد جدید: سنگ زنی و پرداخت مواد غیر آلی غیر فلزی خاص مانند سرامیک آلومینا، نیوبات لیتیوم، آرسنید گالیم، مواد کامپوزیت الماس و غیره.
سرعت بخشیدن به فرآیند جایگزینی داخلی تجهیزات سنگ زنی دقیق
قبلاً،{0}}تجهیزات آسیاب دقیق آزمایشگاهی پیشرفته در چین برای مدت طولانی به مدل‌های وارداتی از اروپا، آمریکا و ژاپن متکی بودند. اجرای این دستگاه سنگ زنی و پرداخت دو ایستگاهه توسط نیمه هادی همی، محصولات مشابه وارداتی را از نظر دقت پردازش و کنترل هوشمند محک زده و در عین حال هزینه های تهیه و پس از بهره برداری را به میزان قابل توجهی کاهش داده است. این تجهیزات به صورت آزمایشی در چندین دانشگاه درجه یک دو در چین، از جمله دانشکده علوم و فناوری مواد، آزمایشگاه کلیدی نیمه هادی های نسل سوم، و مرکز تحقیق و توسعه شرکت های نیمه هادی قدرت پیشرو استفاده شده است.
تجزیه و تحلیل صنعت نشان می‌دهد که با تسریع فرآیند بومی‌سازی-نیمه‌هادی‌های نسل سوم و مواد نوری پیشرفته در چین، تقاضا برای بومی‌سازی تجهیزات پیش{1} پردازش دقیق آزمایشگاهی همچنان در حال افزایش است. تولیدکنندگان تجهیزات محلی به تکرار فناوری خود ادامه می دهند، که انحصار برندهای خارجی را بیشتر شکسته و زنجیره صنعت مواد جدید نیمه هادی داخلی را بهبود می بخشد.
