کاربردهای دستگاه پولیش لپ
دستگاه های لپینگ و پولیش ابزارهای مهمی در مهندسی سطح دقیق هستند. این دستگاه ها برای دستیابی به سطوح مسطح Ultra- ، تحمل ضخامت محکم و سطح ریز و درشت ، در طیف گسترده ای از صنایع فنی-} نقش اساسی دارند. در زیر یک نمای کلی-} نمای کلی از برنامه های اصلی آنها وجود دارد:
پردازش ویفر نیمه هادی
لپ زدن و جلا دادن مراحل اصلی در تهیه بستر نیمه هادی است. قبل از رشد اپیتاکسیال یا ساخت دستگاه ، ویفرهای سیلیکون باید کاملاً مسطح و عاری از آسیب زیرسطحی باشند. از لپ زدن برای از بین بردن آسیب اره و تغییرات ضخامت صحیح استفاده می شود ، در حالی که پولیش یک نقص-} سطح آینه رایگان برای تولید عملکرد بالا- ایجاد می کند.
مواد معمولاً پردازش می شوند:
- سیلیکون (SI)
- گالیم آرسنید (GAAS)
- کاربید سیلیکون (SIC)
- یاقوت کبود
برنامه ها شامل:
- ساخت آی سی
- بسترهای دستگاه MEMS
- الکترونیک قدرت
ساخت جزء نوری
در سیستم های نوری ، دقت سطح و پایان مستقیم بر انتقال نور و کیفیت تصویر تأثیر می گذارد. از دستگاه های لاپ و پولیش برای تولید لنزهای مسطح ، منشور ، آینه ها و پنجره ها برای تولید Ultra- استفاده می شود. این مؤلفه ها باید نیازهای سختگیرانه سطح (اغلب زیر 5 نانومتر) را برآورده کنند و موازی و صافی محکم را حفظ کنند.
مواد نوری متداول:
- سیلیس ذوب شده
- لیوان BK7
- روی سلنید (ZNSE)
- فلوراید کلسیم (CAF₂)
صنایع ارائه شده:
- نوری لیزر
- تصویربرداری مادون قرمز و ماوراء بنفش
- سیستم های ناوبری هوافضا
- دستگاه های تصویربرداری پزشکی
ساخت دستگاه کوارتز و پیزوالکتریک
کوارتز و سایر مواد پیزوالکتریک نیاز به کنترل ضخامت دقیق {{0} بالا و تنش سطح پایین برای اطمینان از ثبات فرکانس دارند. از دستگاه های لپ تاپ برای شکل دادن و شکاف های کریستالی نازک استفاده می شود ، در حالی که پولیش یک سطح صاف برای رسوب الکترود و بسته بندی را تضمین می کند.
برنامه های معمولی:
- کریستال های نوسان ساز
- دستگاه های موج صوتی سطح (SAW)
- سنسورهای فشار
- مبدل های اولتراسونیک
اتمام مؤلفه فلزی و سرامیکی
فلزات سخت و سرامیک های پیشرفته - مانند کاربید تنگستن ، آلومینا و زیرکونیا- اغلب برای دستیابی به ابعاد دقیق و بهبود مقاومت در برابر سایش نیاز به لپه و پولیش دارند. این سطوح به طور معمول در مجامع مکانیکی دقیق - استفاده می شوند و محیط های مستعد {4} را می پوشند.
مثالها شامل:
- مهر و موم مکانیکی
- سنجهای دقیق
- اجزای دریچه
- تیغه های توربین هوافضا
بسترهای نیمه هادی LED و مرکب
لپ زدن و پولیش برای نازک شدن و پرافتیدن بسترهای مورد استفاده در تولید دستگاه LED و OptoElectronic ضروری است. موادی مانند یاقوت کبود ، GAN و INP برای اطمینان از رشد خوب لایه اپیتاکسیال باید از استانداردهای صاف و موازی برخوردار باشند.
برنامه های کلیدی:
- بسترهای LED آبی و سفید
- ویفرهای دیود فوتونی و لیزر
- سنسورهای نوری
پردازش شیشه ای و کریستال سخت
شیشه های ساعت - پایان ، پوشش های گوشی های هوشمند و فیلترهای نوری تخصصی اغلب شامل جلا دادن مواد سخت مانند Corundum (یاقوت کبود) ، گوریل شیشه یا ورق های شیشه ای نازک است. دستگاه های لپینگ و پولیش کنترل مورد نیاز برای حفظ وضوح و دقت بعدی را فراهم می کنند.
تحقیق و علم مادی
در آزمایشگاه ها ، دستگاه های لپه و پولیش برای تهیه نمونه ها برای تجزیه و تحلیل میکروسکوپی ، خصوصیات سطح و تجزیه و تحلیل خرابی ضروری هستند. کیفیت سطح مداوم برای نتایج دقیق SEM ، TEM یا AFM بسیار مهم است.
موارد استفاده شامل:
- تهیه نمونه متالوگرافی
- به پایان رساندن بستر فیلم نازک
- صلیب - پولیش برای میکروسکوپ